潔凈室光罩對對準(zhǔn)機(jī)使用操作方法

曝光機(jī)簡介

在半導(dǎo)體製程中，涂佈光阻后的晶片，須經(jīng)UV紫外光照射曝光顯影，此臺曝光機(jī)為OAI 200系列，整合光罩對準(zhǔn)、UV紫外光曝光顯影、UV紫外光測量裝置及光罩夾持裝置。

OAI 200系列為一入門型光罩對準(zhǔn)儀，可以手動(dòng)操作更改各項(xiàng)使用參數(shù)，如曝光時(shí)間、曝光強(qiáng)度及曝光功率等等。對於中高階的線寬有很好的顯影效果，此系列大可使用四吋的晶片，大的曝光功率為1KW。

曝光機(jī)使用步驟

1.????檢查氮?dú)怃撈俊碅IR 60psi〉〈N2 20psi〉以及黃光室的氮?dú)忾y、空氣閥是否有開啟。開啟曝光機(jī)下方延長線的紅色總開關(guān)，再開啟曝光機(jī)、顯微鏡。

2.????接上隧道式抽風(fēng)馬達(dá)電源，進(jìn)行曝光機(jī)抽風(fēng)步驟，并檢查曝光機(jī)上方汞燈座后面進(jìn)風(fēng)口是否有進(jìn)氣。如果風(fēng)量微小或者無進(jìn)氣，則無法開啟汞燈的電源〈會(huì)有警報(bào)聲〉。確定進(jìn)風(fēng)口有進(jìn)氣后，才可開啟曝光機(jī)下方的汞燈電源供應(yīng)器ON/OFF開關(guān)。

3.????按住汞燈電源供應(yīng)器之START鍵，約1~3秒鐘，此時(shí)電流值會(huì)上升〈代表汞燈點(diǎn)亮，開始消耗電流〉，馬上放掉按鍵，汞燈即被點(diǎn)亮。

4.????汞燈點(diǎn)亮后，至少須待機(jī)30分鐘，使Lightsour系統(tǒng)穩(wěn)定。假使汞燈無法點(diǎn)亮，請不要作任何修護(hù)動(dòng)作。

5.????待系統(tǒng)穩(wěn)定后，把電源供應(yīng)器上的電壓、電流值填到紀(jì)錄表上，每一次開燈使用都要登記作為紀(jì)錄。

6.????旋開光罩夾具之螺絲，光罩之正面〈鍍鉻面〉朝下，對準(zhǔn)三個(gè)基準(zhǔn)點(diǎn)，壓下【MASK VAC.】鍵，使真空吸住光罩，再鎖好螺絲以固定光罩。

注意：

＊?MASK Holder?必須放下時(shí)才能放置光罩。扳動(dòng)【MASK FRAME UP/DOWN】可使MASK Holder升起或放下。

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